多晶硅还原电极的还原法生产工艺
发布时间：2022-7-21 14:57:55 来源:http://www.cnwshj.com/ 作者: 镇江市旺盛合金材料有限公司
多晶硅还原电极还原法，生产过程中工艺气体被硅芯电极加热至110(TC左右，使三氯氢硅(SiHCl3)与氢气(H2)反应生成多晶硅并沉积在硅芯电极表面，形成硅棒。硅芯电极的工作电压在15,000V左右，在如此高温高压的条件下，对硅芯电极的要求非常高。目前采用的硅芯电极主要包括电极体、加热石墨头硅芯、电极座，其中电极座与电极体之间用绝缘套简进行绝缘，绝缘套简的成分为聚四氟乙烯。由于还原炉内温度非常高，虽然通过设备底盘对电极座进行冷却，但聚四氟乙烯绝缘体所处环境的温度仍然很高，在长时间运行后容易失效，造成电极座与电极体之间击穿，导致生产事故。
文章出处：http://www.cnwshj.com/gongsixinwen/431.html
上一篇：铍钴铜具有哪些突出的性能
下一篇：_!
相关新闻
- 2022-07-21多晶硅还原电极的还原法生产工艺
- 2022-07-21铍钴铜具有哪些突出的性能
- 2022-07-13锌铝合金焊丝的六个焊前准备步骤
- 2022-06-22多晶硅还原电极的制作方法
- 2022-05-20铬锆铜电极的四个性能特点
- 2022-05-12多晶硅还原电极的主要特点与应用
- 2022-04-26铬锆铜电极大量应用于哪些方面
- 2022-04-18铬锆铜电极的软化温度是多少
相关产品
