多晶硅还原电极的制作方法
发布时间：2022-6-22 11:35:07 来源:http://www.cnwshj.com/ 作者: 镇江市旺盛合金材料有限公司
多晶硅还原电极主要由还原炉钟罩和还原炉底盘组成，其中还原炉底盘上安装有电极组件，目前采用的还原炉电极主要包括电极体、加热石墨头硅芯，电极体是影响多晶硅纯度的关键部件之一。一个理想的电极体特征为：接触电阻小，节约电能；不与炉内还原气体反应，减少炉内气氛污染，提高多晶硅纯度；不易腐蚀，寿命长，提高生产效率，节约成本；同时工作时与还原炉底盘绝缘。
传统的电极体成分为铜，构造以位于电极中上部的凸起作为分界可以划分为电极上端和电极下端两部分，电极体上端依次有锥形段和圆柱段，其中电极体锥形段用以定位连接石墨组件和硅芯，锥形段为提高导电性和耐腐蚀性能，设置有银涂层；凸起定位连接电极与底盘，电极下端安装在底盘电极槽内，其中电极体卡槽与电极体之间用绝缘套筒进行绝缘，绝缘套筒的成分为聚四氟乙烯。
多晶硅还原电极工作时，为降低还原炉电极体因对底盘放电而导致的还原炉跳停率，通常还需采用多层陶瓷筒对电极体进行绝缘保护(陶瓷套筒成分为氧化铝)，但由于还原炉在运行时炉温较高(为800℃-1200℃)，高温下氧化铝套筒容易热应变产生裂纹，被击穿；聚四氟乙烯套筒也会在高温下碳化失效，此外随着使用时间增长，各绝缘套筒配合间隙间容易积硅等，会造成电极体与底盘之间击穿，进而导致生产事故。
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