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多晶硅还原电极的结构包括哪几部分组成

发布时间:2021-6-23 11:33:26 来源:http://www.cnwshj.com/ 作者: 镇江市旺盛合金材料有限公司

       多晶硅还原电极包括:底盘和炉体,所述炉体连接在所述底盘上且在所述炉体与所述底盘之间限定出反应腔室;三十对电极,所述三十对电极设在所述底盘上且分别分布在第一至第六圈上,所述第一至第六圈为以所述底盘中心为中心且由内向外依次增大的六个同心正五边形;进气系统,所述进气系统包括设在所述底盘中部的多个喷嘴;和排气系统,所述排气系统包括多个排气口,所述排气口设在所述底盘上且位于所述第五圈与所述底盘的之间.根据本实用新型的多晶硅还原炉,可以合理利用热能,同时也可以避免炉体内侧壁带走过多热量,可以降低热量损耗.

多晶硅还原电极其特征在于,包括:底盘和炉体,所述炉体连接在所述底盘上且在所述炉体与所述底盘之间限定出反应腔室;三十对电极,所述三十对电极设在所述底盘上且分别分布在第一至第六圈上,所述第一至第六圈为以所述底盘中心为中心且由内向外依次增大的六个同心正五边形;进气系统,所述进气系统包括设在所述底盘中部的多个喷嘴;和排气系统,所述排气系统包括多个排气口,所述排气口设在所述底盘上且位于所述第五圈与所述底盘的外周沿之间。
文章出处:http://www.cnwshj.com/gongsixinwen/407.html 上一篇:多晶硅还原电极在发热体使用中的表现 下一篇:_!
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