多晶硅还原电极在发热体使用中的表现
发布时间：2021-6-22 15:16:15 来源:http://www.cnwshj.com/ 作者: 镇江市旺盛合金材料有限公司
现有还原炉的每个电极上固定的是1根硅芯，而多晶硅还原电极发热体的每个电极上固定的是4根硅芯，如果所用的硅芯与现有还原炉发热体一样长、一样的直径，多晶硅还原电极发热体的表面积就是现有发热体硅芯的4倍。如果还原炉里的压力、流量和温度等工艺条件不变，采用该发热体的生产速度就是原来的4倍，因此，多晶硅还原电极发热体可以大幅度加快生产速度。采用多晶硅还原电极发热体，除了石墨电极不同外，还原炉的其他部件都不需要作任何改动，所以用起来比较容易。由于还原炉没有变，所以三氯氢硅和氢气的流量也可以不变，也就是说，生产的速度快了，生产的多晶硅多了，而尾气带出的热量没有变，损失的电能是一样的，因此，可以节约电能，降低生产成本。
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