温度对多晶硅还原电极的影响
温度对多晶硅还原电极的影响
随着我们身边使用到的产品越来越多,对这些产品的使用要求也变高了,多晶硅还原电极作为我们身边使用的比较多的产品,它的应用领域还是非常广泛的,在我们进行多晶硅还原电极生产加工的时候,会有哪些因素影响我们多晶硅还原电极的生产效率呢?今天我们就来分析下温度对我们多晶硅还原电极生产加工的影响,希望大家能够了解了解。
温度升高会导致解析速率增加,吸附速率降低。所以在实际生产过程中,温度并非越高越好。实际沉积过程中,半导体材料自气相向固态载体上沉积时都有最高温度,当反应温度超过这个温度时,随着温度的升高沉积速率反而下降,各种不同的硅卤化物有不同的。温度升高,无论从化学反应平衡还是从反应动力学方面,都能够使反应向有利的方向进行,加快反应速度。高温导致反应气体不能到达多晶硅还原炉电极表面,即化学气相沉积未在硅棒表面发生,而是在高温区的气相中就已经反应了,使得硅粉微粒被气相带出反应器,所以硅棒表面的温度不能过高。增加反应温度还对结晶性能也有益。温度高,结晶粗大,而且表面具有很亮的金属光泽,但是温度过高,则会发生逆腐蚀反应,使硅容易熔化。反之,温度底,结晶细小,表面呈暗灰色。
通过上面的介绍,大家了解了温度对我们多晶硅还原电极的影响,希望我们大家在使用这些多晶硅还原电极的时候,能够注意它的使用事项及应用领域,更好的发挥这些多晶硅还原电极的作用,我公司专业生产销售各种多晶硅还原电极及合金产品,希望有需要这些合金产品的朋友可以来我们公司选购,价格优惠,质量保障。
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